二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616134 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 293616134
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Metal PVD System, 12" 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II是一种高性能氮化钛(TiN)沉积反应器,设计用于高通量、经济高效的芯片制造。AMAT Endura II具有大腔室设计和大批量生产芯片的吞吐量。设备是完全自动化的,允许精确的过程控制和精确的最终产品。该系统提供直接和远程控制,便于集成到生产设施中。APPLIED MATERIALS Endura II是一种双阴极装置,允许两种不同的沉积配置。这样可以实现最佳的流程灵活性,并能够根据一组精确的参数自定义流程。TiN层可以沉积在基板的各种厚度和方向上。该单元可配置为热沉积或溅射沉积TiN层。Endura II提供精确的气体输送和沉积过程的精确控制。它可以配置为单通道或多通道沉积。该机配备了高精度的原位厚度监测器,用于工艺优化和最终产品控制。该工具有多个数据收集端口,以促进对流程的现场监测以及流程后分析。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II提供高级温度反馈管理硬件和软件,以确保整个过程中的精确温度控制。该资产还可配置用于自动压力监控模型,该模型允许对流程环境进行实时监控。该设备还具有多个可配置的报警器和自动关机功能,以确保员工的安全和产品的清洁度。AMAT Endura II提供了更高的产量,减少了停机时间并降低了维护成本。该腔室设计用于快速、方便的清洁和维护,从而减少系统停机时间。该室还有一个可移动的门,以方便维护和清洁。APPLICED MATERIALS Endura II旨在通过改进Si通量和提高产量来降低运行成本。
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