二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293617297 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II是一种用于制造半导体材料的化学气相沉积（CVD）反应器。它是为无与伦比的过程控制和电源而建造的高性能设备。AMAT Endura II具有广泛的工艺参数，包括压力、温度和反应物流动。它还包括多种诊断测量，如光发射光谱、质谱和表面晶圆表征。APPLIED MATERIALS Endura II结合了高温过滤系统，以最大限度地提高气体纯度，提供优异的工艺重复性和产率。它的大反应室可以容纳大晶片，直径可达12英寸。反应堆还设有一个自动样品传输模块和一个集成的负载锁，以尽量减少污染和最大限度地提高吞吐量。Endura II还具有环绕反应室的惰性腔室。此特性允许维持高压超压，允许改进电弧运动和晶圆加热控制。惰性室还可确保反应室的清洁环境，从而实现更好的过程控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II配备了强大的计算机控制过程控制单元。这允许用户自定义腔室环境并将参数更改为每个进程的必要级别。此外,该计算机还包括一个流程诊断模块,该模块向用户提供实时数据,从而实现流程优化。AMAT Endura II还包括远程诊断和支持平台。这使得AMAT能够接收和分析流程和工具数据。该平台还为故障排除和维护提供了指导和建议。总体而言，APPLIED MATERIALS Endura II是一种功能强大的高性能CVD反应器，非常适合低温处理各种半导体材料。它是一种可靠、用户友好且清洁的资产,可确保出色的流程产量、出色的流程可重复性和快速的吞吐量。