二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293617299 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II Reactor是一种集成的、计算机控制和温度控制的湿处理设备，设计用于半导体行业的高通量批量处理。它带有几个模块，如一个加工室、一个顶部微调器、一个底部微调器和几个用于晶圆放置和处理的预对准站。AMAT Endura II反应堆设计用于加工直径达200毫米的晶片，以及最大工艺总重150公斤的多达100个晶片。其坚固的结构确保了整个反应堆过程温度的均匀分布和均匀性，确保了一致和可靠的结果。采用APPLICED MATERIALS ENDURA II反应器处理多步骤过程简单。它的直观用户界面既易于使用,又易于导航,有助于最大程度地减少停机时间并增强过程控制。此外，反应堆具有多种工艺站配置，使其能够创建湿蚀刻、清洁、干燥和表面处理等工艺的多步骤组合。反应堆还配备了一个坚固的热控制系统，用于在所有过程中进行精确的温度控制和统一。反应堆能够精确控制1至250罐温度以及2000至10,000瓦功率。此外，反应堆的环境温度控制装置有助于保持整个燃烧室的温度一致，并且旨在防止热冲击。反应堆能够使用外部气体输送机处理一系列气体，如氮气、氧气和氢气。该输送工具还能够监测所有气体流速，包括自动清除和压力控制，以确保过程一致和安全。反应堆还包括废物收集和处理资产，以便于清除过程副产品。此外,它还配备了最新的流程监控、数据记录和趋势特征,确保了多次运行中结果的可重复性和可靠性。Endura II Reactor被认为是在短时间内处理大量晶片的可靠且具成本效益的方法。其直观的用户界面和高精度的温度控制模型每次都能提供一致可靠的结果，确保过程的质量和效率。反应堆还提供了广泛的过程监测、数据记录和趋势分析能力，使其更容易跟踪和监测反应堆多次运行的过程性能。