二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293624638 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II设备是一种化学气相沉积（CVD）反应器，用于半导体和介电膜制造行业，提供精确且可重复的工艺结果。AMAT Endura II是一种高性能的解决方桉,可靠、经济高效,可用于多种应用程序。它有几个特点，包括直观的触摸屏用户界面、用于精确温度控制的固体加热器、多种不同气体输入选项的已安装气体包，以及能够快速精确地调节温度、压力和气体流量。从气体供应中抽出的反应物气体流量由APPLIED MATERIALS Endura II的精确电子质量流量控制器（MFCs）控制。MFCs为整个反应物气体范围提供精确校准流量的精确控制，从而能够精确控制反应堆内部的压力、温度和气体浓度。反应物气体和废气通过一条共同的排气管线，用RotaFlow排气和节流阀（RFTV）控制排气。Endura II利用独特的热控系统，由三个隔热区组成，位于基板支架基板上。其中一个区域，即沉积区，用于处理高达800C的温度。另外两个区域用于预调整和冷却基板支架，然后在沉积过程后重新定位基板。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura II单元的主室为高品位不锈钢，与外界环境完全隔离，免去了真空机在整个过程中保持高纯度的需要。为了提供精确的过程控制，AMAT Endura II使用高级控制器和反馈回路，提供对过程参数的实时监控。Endura工具上安装了多种传感器，并在整个沉积过程中采集样品，提供可用于调整工艺条件和保持对工艺严格控制的数据。APPLIED MATERIALS Endura II资产还配备了文丘里洗涤器和催化氧化剂，用于净化废气和消除废气前的工艺副产物。这样可以确保任何过程副产品或污染物都不会逃脱模型,并且过程环境保持纯净。总体而言，Endura II设备是一种可靠可靠的CVD沉积工具，可提供精确的工艺结果和最大程度的可重复性。它配备了有效的控制和监测系统，并提供了相当程度的灵活性和可调节性，以达到最佳沉积结果。