二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293628318 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II反应器是一种化学气相沉积（CVD）设备。该系统用于创建各种材料的薄膜和涂层,这些薄膜和涂层可应用于表面以进行保护和其他用途。AMAT Endura II反应堆由一个装有底物的腔室、一个过程气体输送单元、一个热源和一个电源组成。APPLIED MATERIALS Endura II反应堆装有多晶硅和氧化物CVD，单晶片机，一次最多可配置用于批处理六个6英寸或四个8英寸晶片。EnduraII反应器具有增强的沉积均匀性和良好的工艺控制.这个单元的特点是一个加热的底物支架，允许底物在反应室中的均匀定位。这确保了所创建层的均匀性，也有助于减少基板上的污染。反应室还提供出色的温度控制，允许精确、可重复的薄膜厚度和均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II反应堆即使在大面积基板上也能提供高度的均匀性。这是由于有多个可用的过程控制参数,这些参数可实现优化和可重复的性能。此外，AMAT Endura II反应器还具有高速沉积后冷却功能，这有助于大大减少薄膜中的残余应力，从而提高薄膜性能。APPLICED MATERIALS ENDURA II反应器在晶片上也提供了出色的膜厚均匀性，并在加工后提供微调参数，有助于保证均质层的形成和最佳的工艺产率。Endura II反应堆能够处理各种气体，包括硅烷和氧气，可以在高达1100摄氏度的温度下运行。此工具还提供各种选项,例如可编程逻辑控制器（PLC）和互锁选项,以帮助用户获得最佳效果。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura II反应堆具有出色的工艺控制和广泛的工艺能力，是寻求可靠、高性能CVD资产的人们的绝佳选择。