二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293640653 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种具有等离子体增强化学气相沉积（PECVD）能力的间歇式反应室，旨在沉积多种薄膜，包括电介质、金属和半导体。该反应堆在大气和真空模式条件下运行，适合一系列应用。AKT Endura II由反应室、射频电源（用于CCVD工艺）、偏置电源、气体测序设备、真空系统和数据采集单元组成。AMAT Endura II反应室由不锈钢製成，并设有离轴漏斗进气口，用于均匀的反应物分布。体积为20.7升，压力范围为0.001至1.00 Torr，底压优于3x10-6 Torr。其最高温度能力为600°C，配有6千瓦调节电源。射频电源能够产生0.3-300 MHz的频率，最大功率输出为1000 kW。另外，4个可编程电源允许独立控制阳极和阴极功率。偏置电源的设计将过程控制从传统的四象限操作扩展到八象限功能。偏置电源可独立控制偏置探头、阴极和阳极。Endura II采用六气体定序器，可控制多达六个气体入口，使复杂的过程能够与多种气体前体一起运行。真空机由增压泵和涡轮分子高真空泵组成，产生高达8e-7 Torr的底压。为了监控流程数据,APPLIED MATERIALS Endura II配备了用于收集、处理和显示操作数据的数据采集工具。数据采集资产包括状态/警报监视、SPC软件和集成的控制/电源/偏置功能。总体而言，AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种高性能加工工具，配备了一系列功能，可精确控制薄膜沉积。其大气和真空模式能力、射频电源、偏置电源、气体测序模型、真空设备和数据采集系统相结合，为许多薄膜沉积过程提供了可靠高效的单元。