二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293746376 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是半导体工业中用于生产半导体材料的多晶硅反应器。它是一个低压CVD（化学气相沉积）反应器，利用抗蚀剂过滤器、热壁和气体输送设备的组合，向基板表面输送广泛的加工气体。AKT Endura II反应堆由一个石英管室和两个屏蔽半组成，用来容纳工艺设备和部件。腔室内部有一个基板支架，可以安装各种基板，包括硅片、石英板和其他材料。该室分为三段；上、中、下加热器。上部加热器在基板架上有基板，中间加热器被基板架包围，下部加热器包含辐射屏蔽壁。加热器由温度控制，用于在整个室内产生均匀的温度。AMAT Endura II反应堆还有一个气体通信系统，由一个歧管单元、测压机、抗滤器、淋浴头和气体管线组成。歧管工具为气体在所需压力和温度下流入反应堆腔室提供了一种途径。压力测量资产使工艺工程师能够测量腔内的压力。抗蚀剂过滤器用于控制气体的流动，防止气体以不受控制的速率进入腔室。喷头用来将气体均匀地分布在整个腔室，而气体管线为气体从歧管模型到喷头的行进提供了一条高效的路径。Endura II反应堆也有一组恒流阀，保证过程气体流动保持恒定，不偏离指定参数。最后，APPLIED MATERIALS Endura II反应堆有一个控制面板，用于监控整个过程。该控制面板允许工程师调整温度、压力、气体流量、工艺时间等参数。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的低压CVD（化学气相沉积）反应堆，用于半导体工业生产半导体材料。AKT Endura II反应堆拥有一整套组件和特点，有助于以高效和经济高效的方式生产可靠的半导体产品。
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