二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293746384 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293746384
优质的: 2007
PVD System
FI
M/F
CH-1/ CH-2 / CH-3 / CH-E&F
(2) EQ Rack
AC Rack
2nd Rack
DI cooler
(2) Cryo comp
Cryo comp rack
(4) Dry pump
Trance
CB Box
FI Front panel
FI Corner panel
(2) FI Corner panel
Load port bar
(3) Power cable
Power cable / DI Return hose
He hose, DI Return hose
DI Return hose
AC Power cable / Signal cable
AC Power cable
(2) DC Cable
DC, RF Turbo cable
DI Hose, 2"
FI Monitor / Degas gas line
(5) Process kit
Step
OHT WIP Delivery type
Single Axis Aligner Pre alignment and centering
YASKAWA track atmospheric robots
Controller / track atmospheric robots
(3) Load ports
(4) Color configurable light towers
Carrier ID Host interface
Mainframe:
Type: Endura2 gray
Chamber 1-6 : PVD
Chamber A: Path / Cool
Chamber B: Cool
Chamber C: PC
Chamber E and F: SINGLE DEGAS
Viton chamber Slit Valve
Local center finder
XP Robot blade
Chamber1:
0190-22985 Heater
0040-62877,0040-76943 Adaptor
SUMITOMO Cryo pump
Manometer: 0.1 Torr
Gasses: AR 200SCCM, AR 20SCCM, AR 50SCCM
Gauge: Pirani, ION
Chamber2:
0190-22985 Heater
0040-62877,0040-76943 Adaptor
SUMITOMO Cryo pump
Manometer: 0.1 Torr
Gasses: AR 200SCCM, AR 20SCCM, AR 50SCCM
Gauge: 3310-00288 Pirani 0190-48891 ION
Shutter: yes
Chamber3:
0190-27432 Heater
0040-80367 Adaptor
SUMITOMO Cryo pump
Manometer: 0.1 Torr
Gasses: AR 100SCCM, AR 20SCCM
Shutter: yes
Chamber4:
0190-27430 Heater
0040-81104 Adaptor
SUMITOMO Cryo pump
Manometer: 0.1 Torr
Gasses: AR 200SCCM, AR 20SCCM
Gauge: ION
Chamber5:
0190-23068 Heater
0040-81104 Adaptor
SUMITOMO Cryo pump
Manometer: 0.1 Torr
Gasses: AR 200SCCM, AR 20SCCM
Gauge: ION
Chamber6:
0010-22985 Heater
0040-82988 Adaptor
SUMITOMO Cryo pump
Manometer: 0.1 Torr
Gasses: AR 100SCCM, AR 20SCCM
Gauge: ION
Shutter: yes
Chamber A:
DI Cool type
Modified chuck shape
Chamber B:
DI Cool type
Modified chuck shape
Chamber c:
CDX2000 DC PWR SPLY Master
0040-86515 Adaptor
Gasses: AR 20SCCM, AR 200SCCM
Electrical Requirement:
Line frequency: 50Hz/60Hz Generator rack 1
Line voltage: 200/208V/480V Generator rack 2/3
Heat Exchanger / Chiller:
Daikin DI Chiller
Robots:
Buffer and transfer: XP ROBOT
DRY Pumps:
CH: C
Load lock
System
Cryo compressor
1st to 2nd: CSW-610 (420/480V)
2007 vintage.
AKT AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是一种先进的太阳能电池和薄膜加工设备。这一革命性的系统融合了新的原位监控技术，在整个电池制造序列中监测和控制过程参数，使高产生产高质量的光伏装置成为可能。AKT Endura II是多晶和单晶硅薄膜沉积、薄膜层形成等细胞工艺等应用的多功能平台。它在沉积速率和均匀性两个方面提供精确的均匀性控制能力，以确保在中等处理速度下的高产率。AMAT Endura II包含了一些能够实现高效和经济高效操作的功能,例如计算机控制的界面、基于Web的支持单元以及大量的自动化和过程控制功能。易于操作的图形用户界面使各种单元制造过程的设置和操作更加简单。计算机控制的界面使操作员能够快速开发和执行过程序列，以及在整个处理周期中监控、控制和调整参数。基于Web的支持机器允许从远程位置安全控制操作,使操作员能够轻松访问流程参数和数据以进行管理和分析。自动化功能（如自动启动和自动停止）以及可调节的端点参数增加了工具的用户友好性。此外，低调的Endura II反应堆包括一种创新的外壳设计，可在一个室内处理多达五种工具，为任何电池技术提供最大的灵活性。反应堆配有精密的软件，用于控制各种工艺操作。该软件利用了沉积过程中的实时控制，实现了紧密的均匀性控制，有效的过程控制，实现了一致的过程重复性。此外,APPLIED MATERIALS Endura II通过集成的现场监视器提供了强大的测量功能,该监视器可分析薄膜沉积和薄膜层形成过程中的材料组成。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是太阳能电池和薄膜制造的杰出平台。其先进的功能以合理的成本使高质量的光伏器件获得高产。此外,它的多功能设计和强大的流程控制功能使用户能够以最低的停机时间和维护成本创建和维护优化的流程。
还没有评论