二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293761335 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种垂直的单晶圆外延反应器，用于半导体晶圆表面纳米结构的生长。它旨在生产RF和光电器件等最新的高性能半导体器件。AKT Endura II由高真空室、多个温度控制区、用于源材料汽化的强大离心雾化器和独特的反应性气体分配设备组成。AMAT Endura II每次运行最多可容纳六个晶圆，过程由经过验证的闭环反馈系统控制。真空室设计为达到1毫巴或更低的工作压力。机组配备了强大的供暖装置，可在整个过程周期内自动调节。区域内的温度轮廓可以独立设置为-100至1000 °C。它还配备了四个独立的径向射频雾化源，用于化合物沉积在晶圆表面上。Endura II也有独特的反应性气体分配机。该工具包括一个射频激活的质量流控制器，它允许用户精确控制和调整气体压力以优化过程。射频活化气体阀资产进一步有助于控制室内的压力梯度和流动动力学。APPLIED MATERIALS Endura II也附有高端晶圆旋转模型。转速可以从0-750 rpm调整，晶片可以承受高达1000重力的离心力。这使得整个晶片的过程完全一致。除了这些功能外,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II还具有气体监测设备、冷却功能和低压传感器等多种安全功能。此外，他们还利用智能流程体系结构来存储和分析来自多个晶圆的数据，以便进行统计分析。AKT Endura II获得了SEMI Standard S2和S3级工艺的认证,非常适合各种半导体器件制造应用。