二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293763514 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的半导体晶圆处理设备，用于创建集成芯片（IC）和其他复杂的电气元件。该系统使用了一系列先进的材料和技术来处理硅片，包括化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、蚀刻和光致抗蚀剂沉积。AKT Endura II具有许多可根据个别客户需求重新配置的流程模块。AMAT Endura II的主要部件是一个通用的加工室、一个集成的通气室、一个专门设计用于物理气相沉积和化学气相沉积的源以及一个压力控制子系统。该机组还配备了偏转镜、气体输送机、偏置电源、工艺试剂和厚膜计量室。由热板或射频发生器提供动力的通用加工室，用来製造金属化、提升接触孔，以及进行钝化和吸气。气室用于循环气体和加工试剂在室内，并提供均匀的压力和温度。独家设计源配备了两个独立的气体反应区，用于物理和化学气相沉积。气体输送工具将气体分配到工艺室内，偏置电源为环形蚀刻提供了必要的动力。Endura II中用于创建和修改晶圆上特征的工艺试剂是硅化合物、氧化物、氮化物、金属、前体和掺杂剂。应用材料Endura II具有以高速率输送各种气体的能力，以改进工艺控制。厚膜计量室允许测量过程中晶圆上任何特征的厚度和轮廓。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进、用途广泛的半导体加工资产。凭借其高性能组件和先进技术，AKT Endura II可以用于生产广泛的集成芯片，包括内存芯片和其他复杂的电气组件。由于其模块化的流程模块,可以将其配置为适合单个用户的需求。