二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293811396 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于进行多种先进的薄膜沉积。设备将Endura平台行之有效的性能与AKT的大规模制造能力相结合。AKT Endura II采用平面设计，以确保最高级别的过程均匀性和可重复性。AMAT Endura II的不锈钢、惰性气体和阀门系统设计为能够精确控制反应堆室内的温度、压力和流量。该系统以先进的获得专利的等离子体生成技术为基础，能够精确生产外延层、氮化物层和氧化层，以及其他复杂的薄膜沉积物。Endura II具有气体输送单元，允许向反应堆室输送溷合气体或多种气体。它能够沉积硅、III-V化合物、过渡金属、稀土、氧化物、氮化物、有机物和控制均匀的聚合物等材料。该机采用低能等离子体选件，非常适合沉积电介质和钝化层等软膜。该工具是完全自动化的,具有自我诊断资产,用于检测流程中的潜在问题。APPLIED MATERIALS Endura II可以配置一系列选项,包括加热端壁、多晶圆处理、晶圆传输负载锁和用于晶圆传输的盒式/塔式支持。这些选项减少了基板加载时间,并增加了模型的整体吞吐量。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II专为易于集成到洁净室环境而设计,能够批量或连续生产。设备采用模块化设计，便于扩展和定制过程。AKT Endura II增强了对沉积过程的控制,提供了优异的产量和可重复性.该系统为大型薄膜沉积应用提供了可靠、经济高效的平台。