二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293814085 待售
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ID: 293814085
优质的: 2018
Physical Vapor Deposition (Pvd) System, 12"
(4) Aluminum Nitride (AlN) Physical Vapor Deposition (PVD) process chambers
(1) Degas chamber
(1) Pre-clean chamber
2018 vintage.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是用于半导体器件工艺集成和生产的最先进的设备。该系统提供了在高度紧凑、高效的反应堆平台中整合沉积、蚀刻和计量操作的能力。该单元具有独特的包络几何形状,利用单个或双个晶片加载平台,可以同时加载两个100 mm或125 mm晶片进行处理。与传统系统相比,这可以显着缩短周期时间,提高生产率,并通过减少占用空间提高产量。AKT Endura II反应堆装有一台先进的1倍晶片装载机,以及用于加工晶片和海湾金属的多个晶片储存槽。本机专为IC制造过程而设计,如溅射、离子植入、蚀刻、沉积等。它还采用了一种新的加载工具,可以快速高效地加载100毫米和125毫米晶片,以及一种新的腔室设计,优先考虑工艺的均匀性和可重复性。AMAT Endura II由AMAT Precision Motorized Batch (PMB)技术提供动力,提供优异的过程重复性和严密的过程控制。它还具有一套全面的过程控制软件,包括半自动晶圆对准资产、真空控制和多个过程配方。该模型还具有多种硬件升级和定制模具选项,从而实现了更大的流程灵活性。APPLIED MATERIALS Endura II是高通量、大容量半导体器件生产的理想解决方桉。它具有广泛的工艺配方和易于使用的图形用户界面,使工艺工程师能够快速高效地针对各种IC制造要求开发配方。反应堆的设计还易于融入传统的洁净室设施和先进的晶圆厂生产线,从而能够无缝地融入现有的制造环境。
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