二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815270 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器。它设计用于高级介电薄膜的沉积，包括高k和低k材料。AKT Endura II通过其直接驱动的淋浴头、先进的多点控制和先进的密封系统相结合，提供了高水平的性能。AMAT Endura II具有高精度的直驱淋浴头，可实现大样品表面均匀沉积。它还具有一个多点控制系统，可以在多个点精确控制沉积，从而产生均匀的沉积剖面。此外，APPLIED MATERIALS ENDURA II先进的安全壳系统提供了优良的排放控制，提供卓越的环保。Endura II能够在真空和超压模式下进行沉积，允许各种材料沉积。其沉积能力包括高k电介质和低k材料，使用户能够沉积各种复杂薄膜。反应堆还能够进行高速率沉积，能够提供高达80 nm的铜沉积速率。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II还提供了出色的工艺控制。AKT Endura II使用高精度的质量流量控制器（MFC）系统来精确控制流量并确保精确的过程控制。另外，反应堆配有集成射频发生器，可用于控制PECVD沉积过程中的等离子体参数。AMAT Endura II也与公司的过程控制软件高度兼容。该软件为用户提供详细的过程监控，允许完全控制反应堆的沉积参数。APPLICED MATERIALS Endura II是一种先进的PECVD反应器，旨在提供高k和低k电介质的精确沉积。反应堆的直驱淋浴头、先进的多点控制、先进的安全壳系统，都是为提供优越的沉积剖面和环境保护而设计的。该反应器能够在真空和超压模式下进行高速率沉积。此外,它的集成射频发生器和过程控制软件提供精确的过程监测和控制.