二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293822584 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是为高密度器件技术而设计的工业蚀刻沉积设备。该系统能够进行半导体和微电子制造的蚀刻和沉积过程。AKT Endura II是一种多室工具，由真空室、反作用室、主室、真空排气和控制单元以及多种可选组件组成。AMAT Endura II最多具有四个工艺室,从而提高了工艺灵活性。它能够进行多种沉积和蚀刻过程，包括PECVD、光致抗蚀剂剥离、湿蚀刻、RIE（反应性离子蚀刻）、反应性溅射和升降蚀刻。此外，它最多可支撑四个主室前庭、三个产品和一个单端发电机。APPLIED MATERIALS Endura II的主工艺室设计为使用工艺气体、气态源和液态源。它是根据制造技术的扩展和要求而设计的，以满足严格的要求。它具有多种特性，如自动气体切换、惰性和非反应性气体控制，以及自动气体溷合机。此外，它还配备了广泛的温度和压力探针以及用于过滤和温度控制的电极。Endura II的反应室有两个反应端口，最多可支撑四种底物。它设计用于精确的压力和温度控制，具有处理广泛的基板和各种气体流动条件的能力。它还具有自动基板装卸工具，以及快速循环时间控制。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II还可以配备一系列可选组件，如SmartView Monochromator，这是一种精密的光学资产，用于即时分析样品表面。它还可搭配Echoflex发电机，这是一种提供额外工艺能力的高频射频发电机。AKT Endura II是满足高级蚀刻和沉积需求的理想型号，提供从小晶圆加工到大规模生产的一系列能力。其广泛的特点和选择使其适合各种半导体、显示器和微电子制造工艺。