二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9072277 待售

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ID: 9072277
PVD Chamber, pre-clean.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是为半导体工业设计的最先进的先进等离子体蚀刻反应器。这种高度灵活和高效的工具能够蚀刻钢、硅、铝、铜、移植物、砷、加斯以及其他金属和材料。它旨在提供高速率的蚀刻和对蚀刻工艺的精确控制,使其成为生产前沿设备的理想之选。AKT Endura II的构建是为了最大限度地提高半导体操作的性能和生产率。它坚固的设计能够一次处理多达四个晶片,同时保持高均匀性和准确性。其30-1000 mTorr的宽工作压力范围使其用途广泛,适合多种蚀刻沉积应用。AMAT Endura II具有高度灵活的硬件,可以主动调整离子能量,允许从超低能量蚀刻到各种高精度工艺应用的各种蚀刻过程。Endura II包括嵌入式高级数字控制设备,可提供易于跟踪的用户定义流程配方和自动控制序列。该控制系统为蚀刻工艺优化提供了全面的反馈和诊断。APPLIED MATERIALS Endura II还配备了专利的脉冲偏置和多面缓减装置,确保整个蚀刻和沉积过程过程条件一致。利用AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II的自动调谐特性,进一步提高了蚀刻速率的准确性和可重复性。此功能可自动检测最优化的流程设置,从而能够快速且可重现地完成流程。AKT Endura II还包括用于精确等离子体生成和表征的多室等离子体剖面仪,实现了可重复、高效的循环。AMAT Endura II是一种高效、精确的蚀刻反应器,非常适合半导体工业使用。它能够一次处理多达四个晶片,加上高度灵活的硬件和先进的数字控制工具,使其非常适合在生产操作中获得极其精确和可重复的结果。它还得到独家AKT担保和服务协议的支持,确保了客户的最高满意度。
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