二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9072467 待售

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ID: 9072467
晶圆大小: 12"
Preclean Chambers, 12" VAT valves: included Matches: no.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种高性能可靠的反应堆,设计用于半导体、光电和微电子器件制造中的高通量处理。它用于制造高度集成的器件,如集成电路(IC)、光电器件和微电子元件。AKT Endura II配备了一个图形电极(G-E)电场,能够以非常高的精度在30V之间产生5-30V场。此功能允许设备以非常低的电气和热梯度运行,以实现精确和可重复的处理。AMAT Endura II还有一种三维等离子体激发技术,使其能够产生复数频率的等离子体能量。这种能量随后被引导到集成芯片上,从而可以对设备进行精确和精确的控制处理。APPLICED MATERIALS Endura II还包含一个两室微蚀刻系统,旨在蚀刻微电子器件的复杂图样。这种双室装置采用热蚀刻和光化学蚀刻。可以精确控制热蚀刻以避免过度蚀刻,并提供可重复的结果。光化学蚀刻允许对设备上的光刻胶图样进行精确控制,使其可用于多种不同的应用中。该单元还具有多个处理室,可用于高通量处理。多个处理室可集成,最多可进行16层集成设备阵列操作。这样可以实现快速、准确的生产率。Endura II除了处理室之外,还包含自动分类、装载和卸载系统,这些系统有助于最大限度地减少停机时间并降低生产成本。最后,机器的内置安全功能确保了工具安全可靠的运行。其安全资产包括高温预警模型、紧急关闭开关、电气接地设备和紧急通风系统。简言之,AMAT/APPLICED MATERIAL/AKT Endura II是一种高性能、可靠的反应堆,用于半导体、光电和微电子器件的高通量处理。其先进的G-E电场、三维等离子体激发技术、两室微蚀刻单元、多工艺室以及自动装卸系统,使其成为多种应用的理想选择。凭借其内置的安全功能,AKT Endura II提供了可靠和安全的处理。
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