二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9130290 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是为半导体工业设计的高精度等离子蚀刻工具。用于晶圆和薄膜的蚀刻沉积及其他蚀刻工艺。AKT Endura II设备提供了最高的蚀刻均匀性和极低的蚀刻速率。它还提供了对蚀刻深度和形状最精确的控制。该工具利用先进的过程控制技术和氮素等离子体源，以提供精确的蚀刻控制和一致的结果。系统分为三个不同的区域；冷却区、等离子体区和蚀刻区。冷却区负责控制蚀刻区的温度，以获得最佳蚀刻速率。等离子体带包含用于生产等离子体的氮源和气体控制系统。最后，蚀刻区是蚀刻过程实际发生的地方。AMAT Endura II单元利用真空技术控制工艺参数，确保精度。它对氧气流速、气体浓度和压力等过程变量提供严格控制。为提高蚀刻的均匀性和准确性，该机还实现了自动电子束源。该源使工具能够精确控制各种基板上的离子轰击能量和蚀刻速率。该工具还提供了广泛的监视功能和诊断。这使操作员能够更好地了解蚀刻过程并发现任何问题。APPLIED MATERIALS ENDURA II资产具有监视各种工艺参数如总压力、射频功率和负载电压的能力。该型号还配备了可编程的报警设定点和自我诊断设备，以提醒用户注意任何异常。Endura II系统是一种非常精确的工具，非常适合大批量生产。它具有很高的蚀刻/沉积均匀性以及监测和控制各种工艺参数的能力。它还具有内置诊断功能,可帮助识别和纠正蚀刻过程中的任何问题。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II单元旨在与其他工艺集成，并最大限度地提高其蚀刻能力。
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