二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9147006 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是工业应用中用于化学气相沉积(CVD)的工艺反应器。它旨在安装在模块化平台中,允许为将来的升级或维护轻松添加和更换不同的组件。AKT Endura II反应堆具有较大的加工体积,允许较大的底物尺寸,非常适合大规模生产。反应堆还设计成比典型的CVD反应堆运行速度快,允许高通量处理。AMAT Endura II旨在提供不同尺寸基板的最佳温度均匀性和均匀性。该反应堆采用先进的加热系统,隔热室和改进的加热元件设计。这种温度均匀性和良好的加热元件相结合,使得涂层质量更高。再者,反应堆有热壁设计,允许从壁上直接加热,从而不需要复杂的穿梭系统将底物移入和移出反应室。Endura II还结合使用远程光学传感器测量温度水平,允许精确的温度控制。传感器可安装在反应堆背面,消除热壁系统干扰,确保读数准确。传感器测量基板和加工室的温度水平。这使用户能够确保底物和腔室处于最佳涂层工艺的正确温度。APPLIED MATERIALS Endura II还设计了先进的气流控制器,它决定了整个反应堆的气流。这是沉积过程中的一个重要因素,因为它影响了沉积速率和沉积质量。控制器还可以防止CVD气体的任何潜在反向扩散,从而可能损坏涂层。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是专门为CVD工艺设计的强大高效的工艺反应堆。凭借其模块化设计、高通量处理、均匀加热和光学传感器,AKT Endura II允许涂覆均匀涂层的优质基板。
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