二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9150559 待售

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ID: 9150559
晶圆大小: 8"
CVD Chamber, 8" AxZ.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种为半导体和光电器件制造而设计的反应堆。这种单晶片加工设备能够执行许多过程,包括化学气相沉积、物理气相沉积、氧化和蚀刻。AKT Endura II反应堆设计用于生产多种设备,包括逻辑、内存、微处理器、光学和光电子设备。适用于高通量制造环境。它的占地面积很小,允许在狭窄的生产空间中进行安装,并且采用低维护设计,可减少停机时间并保持生产高效运行。单晶片系统有一个非接触端效应器,在沉积过程中保持和转移晶片。这样可以确保晶片在加工过程中不会受到污染,并允许精确控制晶片的位置。末端效应装置能够支撑直径达8英寸的基板,非常适合在现代化的生产设施中使用。末端效应器由双臂水平机械平台支撑,允许快速基板传输。它还具有自动负载锁,可防止从一批晶片到另一批晶片的交叉污染,从而确保最优质的产品。该平台还与其他各种子系统集成,如气体分配机和自动化安全系统。AMAT Endura II配备了一套流程控制器,提供准确的流程控制和可重复性。这样就可以在均匀性、均匀厚度和可重复性方面获得一致的高质量结果。控制器也可以远程管理,以便于工具维护和升级。Endura II反应堆有几个设计特点,可以提高用户的安全性,最大限度地提高制造装置的安全性。它拥有自动化的安全系统,监测和控制所有流程参数,在紧急情况下关闭流程,并防止操作员进入危险区域。反应堆还配备了安全互锁资产,防止不受控制的进程启动和关闭,减少发生事故的可能性。总体而言,APPLICED MATERIALS Endura II是一种用于大容量半导体和光电器件制造的强大而可靠的反应器。它有一个小的占地面积和低维护设计,以及自动化的安全系统和可靠的过程控制器,确保高质量的结果和安全的生产。
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