二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9151707 待售

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ID: 9151707
Chamber, 12".
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种高性能反应堆,用于半导体制造过程。设计用于制造高精度、高性能的半导体器件。该设备提供业界领先的流程功能、广泛的自动化功能以及直观的用户界面。AKT Endura II结合了集成的可伸缩前开口端口和自动化的全场晶圆处理解决方桉。这使系统能够可靠地同时装载和卸载多达8个基板。自动处理单元还提供了能够实现纳米精度的高速对准解决方桉,以及声学晶圆定心机。整个反应堆的自动化运输确保了过程的一致和精确的重复性。AMAT Endura II提供了广泛的沉积过程模块,包括原子层沉积(ALD)、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、蚀刻、清洁和剥离。这使得沉积、蚀刻和清洁这三个常见的过程步骤都可以在一个步骤中执行。反应堆的智能控制工具提供了精确的工艺配方和测量现场和实时晶圆质量。这样可以快速准确地调整工艺条件。资产还具有先进的传感器技术,可以测量温度、压力、流量等过程参数。这样可以对流程进行准确的实时监控,有助于保持一致的结果并减少废品。APPLIED MATERIALS Endura II的自动化功能可实现高达80%的过程自动化,从而提高效率并缩短周期时间。Endura II实现了高产、高效制造各种半导体器件,如内存芯片、芯片模型和微机电系统(MEMS)。它在自动化、精确度和生产产量方面的进步使其成为半导体工业极具吸引力的反应堆。
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