二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9156594 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一个多功能的多工具反应堆平台,非常适合在半导体、高级封装、MEM和光电洁净室环境中进行过程集成和缩放。此新一代解决方桉具有创新的、可扩展的体系结构,旨在为高吞吐量、高级流程提供精确、可扩展性和更高的效率。AKT Endura II反应堆采用模块化、多过程腔室设计，加上自动化机器人解决方桉，最多可容纳8个负载端口。多功能反应堆平台具有各种晶圆尺寸和工艺能力，包括蚀刻、沉积、退火、干法改造、定制ALD工艺、等离子体源/电源输送和工艺配方开发。每个端口都可以支持多种过程，如带有原子层沉积（ALD）的蚀刻、蚀刻/沉积和退火/沉积。集成的机器人解决方桉允许从每个端口快速、高效地加载/卸载加工过的基板。AMAT Endura II先进的过程控制设备配备了先进的协同过程控制策略（CPC），以加快高级过程开发，优化过程效率。CPC利用众多自动化和操作员逻辑算法来提高产品质量，稳定瞬态过程状态，并监控过程度量以帮助减轻非统一性。中央过程控制站还提供直观的用户界面,确保易于学习的曲线和快速的产品传输。Endura II的开放式互锁架构提供了无与伦比的防篡改安全性。该系统配有安全关机联锁装置，这是一个符合现行安全规定的排气装置，与拥有专利的阻燃机的NFPA报告代码完全兼容。APPLICED MATERIALS Endura II提供了广泛的工艺室、供应柜和多区温度控制系列,以及各种原位和非原位工艺气源、射频电源和组件,为定制处理需求提供了更大的通用性。适应性强的基板和工艺模具配置为分布式加工提供了更高的精度,同时提供了无紫外线、动态温度升高和延长工艺时间的锁定负载功能。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II为一系列先进的半导体、MEM和光电洁净室工艺提供了一个有效、可扩展的反应堆平台。它的模块化、多过程室设计、最先进的过程控制和防篡改安全解决方桉为所有制造应用程序提供了改进的过程和用户安全性、效率和可扩展性。