二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9161787 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种高通量、多晶圆反应堆设备，旨在简化各种产品的半导体材料加工。该系统结合了AKT Endura平台的吞吐量能力和AMAT先进技术的过程重复性。AKT Endura II反应堆具有模块化设计，使用户能够同时集成多个过程，确保高效可靠的材料沉积。该反应堆能够处理各种复杂的过程，包括光致抗蚀剂带、降解、干湿蚀刻、残渣去除、灰化、沉积和其他先进化学。反应堆部件在清洁的环境中运行，可以依次运行多个晶片。它还具有用于统一温度控制的多区环境和用于减少负载和卸载时间的快速变化晶片卡盘单元等先进功能。随着FastFlow最大扩散涂层，AMAT Endura II提供了一个极快的扩散涂层工艺的图案和扁平晶片。Endura II反应堆采用先进的部件建造，并设计了一系列自动化功能。它的自动化特性包括超高真空（UHV）环境，它提供了一个清洁、稳定的环境，使过程能够稳定和可预测；用于容纳多种晶圆尺寸的自动晶圆处理机；以及晶圆传输和过程自动化的机械臂。此外，该工具还有一系列温度控制器，用于不同工艺部件的精确温度控制。APPLICED MATERIALS Endura II反应堆坚固耐用，设计具有大量安全特性。它有几个高速联锁、一个过程中止警报以及多种其他安全系统，以确保反应堆及其使用者的安全。此外,资产中的所有次要进程都记录在模型的历史记录中,以便进行有效的流程跟踪。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II from APPLIED MATERIALS是一种强大可靠的反应堆设备，旨在帮助降低材料加工成本。该系统采用模块化设计、高级自动化功能和一套安全功能,提供高效可靠的材料沉积过程。