二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9170922 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
已售出
ID: 9170922
晶圆大小: 12"
PVD Chambers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的PECVD/低压 CVD (LPCVD)反应器设备,设计用于各种薄膜的沉积。AKT Endura II提供了革命性的工艺室设计,并具有许多优点,包括改进沉积均匀性、更高效的工艺控制和提高生产率。AMAT Endura II的先进设计具有"隔离"效果,可确保薄膜均匀沉积在各种基材和晶片上。这种工艺腔室设计包括一个大体积的PECVD或LPCVD腔室和一个完全封闭的椭圆形沉积区,有一个气体载体的中央入口口和两个小腔室通风口位于腔室长度的三分之二以上。结果是气体和压力的单点入口,确保在所有基板和晶片上均匀沉积。Endura II还通过其独特的气体输送系统提高了工艺控制和生产率。利用这一单元,APPLIED MATERIALS Endura II能够精确控制气体进入工艺室的体积、流量和定时。这使得它能够沉积最佳薄膜而不会浪费时间或材料。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II可以编程为在工艺运行期间自动在各种气体之间切换以获得最高质量的薄膜。最后,AKT Endura II比大多数竞争的PECVD或LPCVD反应堆效率高,能耗少,产生的排放量也少。这种高效设计和精确控制的结合使AMAT Endura II能够减少周期时间并最大化吞吐量,提高生产率并降低总体成本。综上所述,Endura II是一种强大高效的PECVD/LPCVD反应堆机器,设计用于薄膜沉积在广泛的基材和晶片上。APPLIED MATERIALS Endura II通过其革命性的工艺室设计和先进的气体输送工具,提供了更好的沉积均匀性、更快的工艺控制和更高的生产率。
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