二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9178465 待售
网址复制成功！
单击可缩放
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是一种先进的全金属反应堆，专门为先进半导体材料的精密蚀刻和沉积而设计。它具有用于无污染操作的气密超清洁室、优化的散热轮廓以及先进的控制功能,可实现无与伦比的过程可重复性和生产率。该反应堆具有高温能力，允许从低温热操作到高温快速热处理等多种工艺操作。AKT Endura II具有双泵配置,用于高速度流动,如溅射、防止颗粒进入腔室和确保清洁、高纯度的基板。AMAT Endura II为先进的过程能力设定了行业标准，例如先进的集成受体运动和原位气体溷合系统。最先进的运动系统可实现多达8个机动化位置,分辨率低至0.1 μ m,样品包兼容性从12英寸到200 mm不等。溷合系统保证了稳定的工艺条件和可重复的结果。APPLIED MATERIALS ENDURA II ENDURA II中的可变脉冲功率技术还提供了全面的工艺控制功能,可实现一致的功率、均匀的工艺温度和高度可重复的均匀性。等离子体室全面的等离子体监测和数据收集使用户能够密切监测过程参数，并容易重复以前成功的过程。此外，完全集成、触摸屏操作的直观过程控制软件使AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II易于编程和执行操作，精确度很高。所有这些功能使用户能够实现高精度、高可重复性和更高的吞吐量性能,这是半导体蚀刻和沉积过程成功的关键。AKT Endura II是先进半导体研究和生产中任务关键过程的理想反应堆。
还没有评论