二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9188225 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II Reactor是一种用于生产太阳能电池、LED、光学和MEMS的半导体制造工具。它是一种同时使用电阻加热和快速热处理（RTP）技术的低温化学气相沉积（LTCVD）反应器。AKT Endura II是AMAT系列PECVD（等离子体增强型CVD）处理系统的一部分，设计用于生产附着力好、层对层阶梯覆盖性好的高度均匀的薄膜。AMAT Endura II反应堆装有RTP室，可以在短短几秒钟内将基片晶片的温度迅速提升至850°C。这个腔室利用来自高强度灯阵列的辐射来快速加热晶圆。这使Endura II可以在比传统PECVD系统短得多的时间内製作高品质的影片。APPLICED MATERIALS Endura II也能沉积氧化物和氮化物薄膜到只有几纳米的厚度。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II使用低压、含氯的远程等离子体源，以确保整个晶片的薄膜沉积一致。该等离子体源与主反应室分离，使氯能直接添加到膜中，而不会将原子直接沉积到底物上。即使在复杂的三维结构上，这也有助于保持良好的步进覆盖。AKT Endura II是一个高度通用的系统，能够沉积各种介电膜以满足不同应用的特定要求。它还能够预先清洁基片晶片，这对于专业应用程序的成功处理往往至关重要。总体而言，AMAT Endura II是一种功能非常强大的LTCVD反应堆，装备精良，能够为各种不同的应用提供最优质的薄膜。其快速的热处理能力使其成为生产环境的理想选择,并且其预清洗晶片的能力使其适合更复杂的专业应用。