二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9188227 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9188227
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
PVD Chamber, 12" 2009 vintage.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的批量反应堆设备,用于将各种材料的薄层形成并沉积在不同的基板上。该系统装有一个专门的真空室,其中包含一系列高坡度、精确可调的crucibles,可以携带多种材料制成的目标。这些熔炉与一系列机器人沉积臂相连,可以在全球或本地管理将熔炉中的材料输送到基质上。AKT Endura II专为广泛的材料和基材而设计,其快速加热材料和精确控制其温度的能力使得各种配方得以生长、沉积和蚀刻。它还具有一个获得专利的两室处理单元,可以为更密集的处理应用提供预溅射或预清洗阶段。AMAT Endura II使用高频射频感应等离子体源在低温下对材料进行高质量、精确的蚀刻和沉积。它还具有氢气进料,在较低的温度下可以产生出色的退火效果。机器还包括氦气进料,可以改进湿蚀刻控制,同时保持蚀刻图桉的长宽比。APPLICED MATERIALS ENDURA II使用专利的均匀溅射技术,在大型基板上提供异常均匀的材料沉积。这种技术利用多重循环功率提供更一致的层对层沉积。它还包括一个真空烘烤工具,减少污染物和消除灰尘颗粒,以确保清洁的环境。Endura II是一种先进的批量反应堆资产,结合了最新技术,使各种半导体材料能够高效生长、沉积和蚀刻。这是一个可靠和经济高效的解决方桉,为公司制造的半导体器件层的精度和质量。它是半导体材料工业的理想选择,因为它为先进材料提供了可靠的沉积工艺。
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