二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9191121 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9191121
晶圆大小: 12"
Chamber, 12" AL TxZ Degas SIP Siconi.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是一种半导体器件制造工艺设备,允许以高通量和经济高效的方式生产高性能电子元件。AKT Endura II是一种先进、坚固、最先进的系统,利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术沉积薄膜材料。AMAT Endura II具有几个独特的功能,使其吸引半导体制造商。它有一个行业领先的腔室冷却单元,允许更短的周期时间,更高的吞吐量和提高产量。它具有比通常在反应性离子蚀刻(RIE)腔室中发现的更大的腔室体积,允许更大的灵活性和生产能力。Endura II还有更大更快的控制器,有助于减少批次间的可变性。APPLIED MATERIALS Endura II是一种模块化机器。这样可以方便地安装和维护。它还提供了更大的灵活性,以适应不同的客户需求。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II的部件与生产线的其他部分兼容,如气体分配系统、冷却系统、沉积室等。反应堆还具有处理大气和真空两级处理的能力。这为基板全真空加工和大气表面生产之间的平稳过渡提供了灵活性。反应堆利用最多四种不同的工艺/腔室组合,处理最大200毫米尺寸的基板。此外,AKT Endura II符合多个行业标准,包括SEMI E 15、MTP 2.1、MOS。这确保了整个生产链中高质量的设备制造和可靠性。综上所述,AMAT Endura II反应堆是一种最先进的设备制造工艺工具,它将等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)技术与更大的腔室体积、更快的控制器和模块化资产等先进特性结合在一起。Endura II符合多个行业标准,旨在提高吞吐量、降低成本并大规模提供可靠的生产。
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