二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9195097 待售
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ID: 9195097
CVD TIN Chamber, 12"
Process: TXZ
Chamber only SIP
SIP/TI
Missing parts:
Shower head
Isolation ring
H2 Sensor
TMP Leybold.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种为高级沉积过程而设计的强大反应堆。该设备专为生产环境而设计,包括具有多种模块化组件的高温处理功能。适用于薄膜材料的沉积,用于生产微电子、光电子、生物技术部件。AKT Endura II是为高速晶圆传输而设计的两室系统。这样可以在沉积薄膜材料时缩短周转时间。它具有高效的热力管理单元,可节省能源。这台机器还包括一个大功率的灯,以加速沉积速率为大批量生产。AMAT Endura II的最高温度范围高达600°C,压力范围高达5 Torr。泵速是可变的,可设置为55升/分钟。该工具还包含用于控制腔室条件的高级软件,以确保最佳流程。资产包括几个模块化组件,如装载机/卸载机、基板冷却模型、加热器控制模块以及用于发送配方和控制整体腔室条件的控制器模块。这允许电弧、沉积、溅射、蚀刻和电阻加热应用,具体取决于安装的组件。APPLICED MATERIALS Endura II还包括一个触摸屏显示,它将允许用户监视室内条件和状态,以及设置进程。此显示还允许数据记录。因此,用户可以监控流程性能并在需要时进行调整。Endura II旨在实现快速转换和对工艺条件的精确控制。这使得它成为大批量生产的理想选择,非常适合微电子、光电子和生物技术应用。它设计能承受恶劣的环境,易于维护和操作。
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