二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9197130 待售

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ID: 9197130
优质的: 2007
Chamber Currently crated 2007 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是为半导体工业设计的一种反应堆,专门用于制造下一代内存芯片和其他专门应用。它是一种先进的多区旋转效应设备,采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)与原子层沉积(ALD)相结合的技术来创建高精度特征,并对芯片制造中的关键参数进行极其严格的控制。AKT Endura II系统具有多项功能,旨在提高流程稳定性并减少停机时间。它具有高度可靠、超高纯度的不锈钢腔室,旨在提取用于加热器和沉淀源的大功率等离子体。该室还具有均匀的脉冲气室,以提供稳定的热载荷和颗粒扩散,确保一致的冷却和热量损失。AMAT Endura II单元结合ALD和PECVD技术,创建超紧沉积控制。这样就可以精确控制每层厚度并提高填充系数,从而提供使用寿命更长的卓越产品。除此之外,机器允许全自动过程设置和配方优化,提供近乎瞬时的过程设置和转换。这大大减少了与制造前沿设备相关的传统停机时间。Endura II工具以三区5度弧资产为基础,配备精密伺服电机,由专用命令处理器控制。这使得三个上下级工艺模块上的运动高度精确,压力相等,导致粒子生成减少,可重复性增强。真空结构还确保了改进的热均匀性和较低的污染可能性。在安全性方面,APPLIED MATERIALS Endura II型号装有先进的安全传感器,并具有符合所有现代安全标准的密封室结构。此外,设备还利用绝缘层和空气屏蔽来确保没有气体或颗粒逸出,从而大大降低了污染的风险。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II System是一种强大可靠的反应堆,为前沿设备制造应用提供精确控制。凭借其先进的技术、功能和安全系统,AKT Endura II单元提供了性能达到或超出预期的芯片制造设施。
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