二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9198082 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是为快速生产高质量电子材料而设计的最先进的生产级化学气相沉积设备。该反应堆具有商业规模的生产能力，具有业界领先的大气热飞地（ATE），提供无与伦比的均匀性和优越的产品产量。ATE系统采用四个独立的电子供暖区，对气体、供暖和制冷进行精确控制。这样可确保高达120°C的均匀温度和高达60升/分钟的气体流量（L/min）。ATE单元还具有不断变化的反应性气体浓度，以优化沉积过程，导致包括金属、氧化物和氮化物在内的多种材料的最高质量沉积。AKT Endura II反应堆还具有3维端态剖面。这种独特的功能使用梯田加热器系统具有卓越的均匀性控制.这允许用户设置最终状态配置文件以满足精确的温度需求,并使用软斜坡设置到环境条件。对于分离材料的平行沉积，AMAT Endura II反应堆还包括多达四个机械分离器，用于在两个或更多反应堆之间分裂气流。这些提供独立的温度控制，使反应堆也可以一次生产几十种不同的材料。应用材料Endura II反应堆还配备了一个板载质量流量控制机，能够控制惰性和反应性流量。它利用四个高精度的质量流量控制器以及一个压力控制阀来调整工艺室的压力。板载反应物溷合工具还允许用户精确控制气体的反应速率。Endura II反应堆确保对从纳米级到微米级的一系列材料进行优越的粒径分布控制。它具有自动采样器，自动从反应堆内部的多个位置收集样品。这使用户能够获得有关所生产材料质量的特性数据。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是一种先进、最先进的资产，能够生产各种材料，在商业规模的生产水平上具有特殊的质量控制。这一模式有助于确保达到最高产量，并确保所生产的材料达到最高质量标准。