二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9200861 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是专门为低成本半导体加工而设计的反应堆。它是一个基于单晶片的间歇反应器系统,旨在提供先进金属、合金、氧化物和其他材料膜的均匀沉积到硅或其他基板上。它是一种基于热板的真空沉积平台,具有可定制的工艺参数,可用于先进的精密工艺控制。AKT Endura II反应堆具有独特的设计,采用可调节的高度源定位的溷合气体喷射器和基板加热器板,可在大面积上均匀沉积材料和气体。利用先进技术进一步分布均匀厚度,进行一致、精确的加工。内置的超高真空室有助于创建纯沉积环境。其专用控制器允许微调处理参数,如压力、温度、流量,以及精确控制沉积层的厚度和均匀性。在运行中,反应堆利用射频(RF)电源来创建沉积材料的等离子体。等离子体在一个感应耦合室中产生,然后注入主加工室,在那里精确沉积到基板表面。与基板室相连的淋浴头有助于均匀地输送材料,同时防止任何反向溅射或碎片形成。AMAT Endura II反应堆是生产级半导体加工的通用可靠工具。它的低成本设计使其成为扩展操作而又不影响质量的经济选择。此外,它的设计允许轻松集成到现有的制造过程中,使其成为现代半导体制造的便捷解决方桉。
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