二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9205044 待售
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ID: 9205044
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
PVD System, 12"
(3) Scanners
(3) Racks
CVCF Rack
(3) Monitor racks
Front monitor rack
System component information:
Factory information:
FFU Type: Thin type
(3) POD
FLEX 4 Controller long type
Light curtain
Signal tower: 3 Colors
Robot type: YASAKAWA AT Robot
Pass through option: (2) Slots
Degas chamber information:
(2) Chambers
Chamber type: Standard
Cryo pump: IS-8F
Chamber A&B information:
Chamber A: Pass
Chamber B: Cool
Lid type: Clear
Buffer & transfer information:
Robot type: XP
RGA Option: No
Cryo pump: IS-8F
LCF Amplifire:
(14) Buffer
(12) Transfer
Chamber 1:
Process type: ALPS Co
Adapter: 0040-62882
Spacing: 225 mm
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 150 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 2:
Process type: Ni-10at%Pt
Adapter: 0041-02309
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 3:
Process type: TTN
Magnet: DURA
Adapter: 0040-80367
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 200 sccm, Process
Chamber 4:
Process type: SIP TiN
Adapter:
0040-62877 Bottom, SIP TTN
0040-76943 Upper, SIP TTN(3L)
MFC:
UFC 8565C-AR 50 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 100 sccm, Process
Chamber 1 / 2 / 3 / 4:
Controller tower type: CCT
Heater type: ESC
Gate valve type: Old type 3 pos
Cryo pump: IS-BF
Shutter option
Sub rack:
Load center rack
(3) Equipment racks
(2) Heater exchangers
Heater exchanger type: SMC Thermo chiller INR-498012D-X007
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是一种先进的、技术先进的高温PCVD处理设备，旨在实现先进的光刻和半导体应用。AKT Endura II反应器基于一种专有的高温PCVD工艺，它能够涂覆、沉积和扩散薄层。系统包括大功率阴极以提供高通量；用于精确过程控制的多维变频调制器；用于晶片冲洗和高精度氮气/氧气净化管理的大目标区域；以及一个计算机控制的升空装置，用于精确的晶圆厚度控制。该机还包括强大的等离子体处理操作，可以与高温PCVD工艺相结合，以增强基板膜的附着力。该工具温度范围大，可用于多种应用，包括薄层沉积和金属扩散。AMAT Endura II反应堆还提供了出色的晶圆钝化能力，其加工能力使得它能够以最低的人工干预达到最高精度水平。为确保最大吞吐量和精度，恩杜拉二号反应堆还配备了强大的气体进料资产，能够精确控制薄膜沉积过程。这种供气模式具有加热模式，使设备在需要时能够在不同温度下运行，以达到预期的效果。除了APPLIED MATERIALS Endura II反应堆的特定工艺能力外，还配备了先进的数据记录和收集能力。该系统能够以毫秒精度绘制复杂的数据点。此外，该单元的设计旨在与基于PC的软件应用程序AKT协同工作，以便进一步定制流程。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是一个全面的先进设备，提供可靠、精确的性能，以满足最苛刻的应用需求。由于其强大的阴极、控制气流和温度的能力以及广泛的数据记录和收集能力，AKT Endura II反应堆是任何PCVD处理应用的理想选择。
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