二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9225567 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，专门为工业、半导体级加工而设计。这种反应器使先进的绝缘材料和导电材料能够在广泛的薄膜厚度中高度均匀地沉积。凭借独特的开放式反应堆平台，AKT Endura II提供了卓越的温度控制、精确的气流和压力控制，以及强大的工艺监控能力。AMAT Endura II提供了适合特定客户应用的高质量沉积平台。其高效的等离子体源选件是为低耗电量和快速提升而设计的。此外,先进的气体输送系统易于根据客户的工艺参数进行调整,有助于简化PECVD的复杂性并确保CVD涂层的均匀性。Endura II的垂直热壁室提供了改进的温度均匀性和均匀沉积的薄膜。其顶部和底部电极可用于温度控制，可以独立编程以定制表面温度曲线以获得最佳性能。此外，它的多区冷却平台确保晶圆温度分布的均匀性。APPLIED MATERIALS ENDURA II提供了易于使用的工艺配方,使加工方式具有可重复性,从而实现高产率和均匀性。集成的Endura/AppliedProcessControlSoftware可实现快速、轻松的流程设置和优化,还可确保稳定、可重复的性能。该软件由几个模块组成，包括一个用于快速实时优化工艺结果的预处理模块和一个满足低杂质浓度的低真空蚀刻监测模块。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II采用可靠的制造标准,能够可靠、长期运行,并延长使用寿命,最大限度地提高产品价值。其可靠性和竞争力也为半导体行业做出了健康的贡献。这种可靠性使得它成为市场上领先的CVD反应堆之一。