二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9231975 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor是一种下一代半导体工艺工具，设计用于对先进技术节点进行精密处理。它在业界最苛刻的3D NAND应用程序上提供卓越的性能和统一性。该反应堆的设计目的是最大限度地提高吞吐量，确保精度，最大限度地减少缺陷，同时减少循环时间。反应堆支持集成的工艺流程，使蚀刻、沉积和退火配方更快、更准确。AKT Endura II反应堆采用紧凑、一件式、无工具的设计，允许快速无缝安装。这种开放式体系结构设计简化了为满足客户需求所需的附加硬件的安装。该反应堆凭借其强大的线性驱动技术提供了性能优势，提供了高度可靠的运行。此外，它还具有独特的侵蚀设备，能够比不同厚度和组成的基板更高的蚀刻精度。该反应堆具有先进的工艺控制功能，能够精确控制温度和压力，从而实现卓越的工艺稳定性和可重复性。此外，AMAT Endura II反应堆的特点是集成腔室系统，被称为自适应控制腔室。该单元消除了额外的损失，导致径流率提高，层沉积均匀性提高，颗粒转移减少。自适应控制室有助于降低与较高化学性质相关的成本，同时增加工艺的正常运行时间。Endura II反应堆是为最大的热均匀性和优良的粒子控制而设计的。这是通过利用先进的等离子体流动和现场物理模拟的创新传热设计来实现的。该反应堆具有坚固的等离子体加热机，利用先进的加热技术，有效地管理不均匀表面温度梯度的影响，从而提高晶片的均匀性。该反应堆还利用专有的气流控制技术，在最小的停机时间内帮助保持最佳工艺性能。APPLIED MATERIALS Endura II Reactor完全符合最先进的技术节点和制造程序。反应堆是提供极高的上行时间和可靠工艺的资本设备。这种经济高效的工具非常适合先进的工艺技术，包括3D NAND、成型、介电沉积、反应性离子蚀刻和金属沉积。