二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9231996 待售

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ID: 9231996
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
Chamber, 12" 2013 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种旨在提高CMP(化学机械平面化)工艺性能的反应堆。这种圆柱形的设备是由不锈钢制成,设计为最大的耐用性和可靠性。反应堆具有低热质量设计,可以快速准确地控制温度,而无需等待反应堆热身或冷却;同时允许对底部加热器元件和顶部开放式甲板进行精确的温度控制。AKT Endura II有一个CMP反应室,利用层流设计原理在整个基板表面创建一个均匀的温度分布。这有助于确保过程统一并减少缺陷。该室还包含一个扩散模式晶片载波,其设计提供精确的多层材料平面化。反应堆的晶片载体还提供了简单的机械晶片载荷,以获得一致的结果。AMAT Endura II还包括各种有助于确保安全高效流程的安全功能。它具有故障安全盖机构,当盖子关闭时锁定到位。这可以防止危险材料在运行过程中泄漏,并为反应堆及其乘员提供额外的安全层。反应堆还有一个用户界面,允许反应堆从任何地方远程运行。这使得操作员可以密切关注这个过程,而不必在反应堆房间里。总体而言,APPLIED MATERIALS Endura II是提高CMP性能和实现高分辨率的绝佳选择。反应堆的CMP反应室设计为创造精确和均匀的过程,同时其安全特性确保安全和高效运行。利用其用户界面,反应堆还使监控过程变得简单方便。
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