二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9235244 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种集成的自动化热/过程反应堆,设计用于研究产品和设备开发。AKT Endura II专为许多不同的工艺而设计，包括半导体、MEMS、薄膜、太阳能、高级陶瓷、纳米线和一般沉积应用。AMAT Endura II是一种功能齐全的工具,可用于最大4英寸晶圆尺寸的处理。它还能够用多种材料加工，包括多晶硅、硅化钯、硅化镍、氮化硼等。该设备设计为提供快速的基板传输、最大的灵活性和快速的热回收时间。APPLIED MATERIALS Endura II可以与广泛的惰性、还原性和反应性环境气体一起运行，包括的有移动式气体，其中包括移动式、氮气、氨、氧气、氢气和甲烷。Endura II配备了高分辨率触摸屏界面，允许流程工程师访问参数、配方和通信系统。直观的图形工具允许更轻松的参数管理和更高效的过程设计。接口与Cloud软件互连,允许访问最新的流程配方和SSL参数配方。它还具有事件记录和数据库存储功能,允许实时数据编译和分析。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II采用先进的径向磁化器设计,能够实现高精度径向驱动。磁感器在厚膜动态过程控制和带有外部压力表的低压卸载过程室上工作。AKT Endura II还具有先进的晶圆识别系统，具有独特的长寿命晶圆穿梭和夹持机构。该装置与5-L/min液氮冷却机配合使用，能够运行高达1200瓦的输入功率。AMAT Endura II的设计具有先进的安全特性，如冗余闸阀、超压关闭阀、防撞防护和多个安全联锁。APPLIED MATERIALS Endura II配备了两台RF发电机，允许多个基板运行而无需中断。Endura II是一种高性能、经济高效的工具,用于优化流程,提高产量并缩短周期时间。