二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9236846 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是用于制造半导体器件的下一代蚀刻加工设备。它旨在从各种基板中高效去除材料，以实现具有精确特性的设备。AKT Endura II是一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器，能够在大面积底物上提供极为均匀的材料沉积。其先进的功能包括增强均匀性的多区域淋浴头设计、多阶段加热/冷却设备、快速退火能力和实时配方编辑。它还具有多种流程监控功能,包括实时流程数据和运行结束数据。AMAT Endura II还配备了多种其他沉积和蚀刻系统，用于精确特征定义。Endura II是专门为了提供来自多种底物的金属氧化物和氮化物的高度均匀的蚀刻而设计的，包括硅、磷化铵、砷化氙、蓝宝石和其他III-V材料。该腔室设计用于将热量从基板快速传递到气源。这允许高蚀刻速率,进而导致高分辨率特性。APPLIED MATERIALS Endura II能够同时蚀刻毯子区域和阶梯式蚀刻特征。其覆盖面积蚀刻速率高达200 nm/min，步进蚀刻速率高达400 nm/min。系统对蚀刻源的浓度和与基板的距离敏感。蚀刻是在涡轮分子真空泵产生的高真空条件下进行的。该单元还配备了可以调整以定制蚀刻工艺的安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II能够获得最小缺陷的高质量表面饰面。蚀刻过程还导致最小的垂直侧壁坡度和均匀的深度。该机也具有很高的灵活性，设计方便维护和升级。其工具可应用于三维结构、微加工、三层蚀刻等多种应用。AKT Endura II也有出色的业绩记录，并取得了一些行业内最高的收益率。