二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9237854 待售
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ID: 9237854
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
PVD System, 12"
Process: AlCu Depositon
FI
SMIF System: (3) Load ports
Mainframe
(6) Chambers:
(2) HP AL
(2) DS TTN
(2) Degas
Handler system:
FI YASAKAWA Robot
Buffer XP robot
Transfer XP robot
Accessories:
DI MAX
Equipment rack
(2) Compressors
(2) Generator racks
2013 vintage.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种最先进的晶圆加工反应堆,用于半导体及相关行业。它被设计为能够对晶片进行高效、准确和可靠的处理。反应堆由几个不同的部件组成,包括感应加热设备、气体输送系统、真空室、射频发电机、冷却风扇、等离子体发电机和热解石墨反应堆(PGR)屏蔽。感应加热单元使用专门设计的线圈将晶片快速加热到所需温度,以便进行该过程。气体输送机提供了过程中使用的气体,其中可以包括氮气、氧气、氙气等更简单的分子。真空室在腔内保持恒定的真空压力,允许有效的晶圆处理。射频发电机产生等离子发电机被激活所需的射频功率。等离子体发生器一旦将气体注入室内,就会产生强大的等离子体场,从而破坏气体中的键合,形成一种等离子体,可用于进行各种过程,如蚀刻、沉积、退火或生长。冷却风扇将PGR屏蔽保持在恒定温度下,以保护晶片不因热量而损坏。最后,反应器可用于测量温度、压力、射频功率、气流和均匀性等参数。总体而言,AMAT/AKT Endura II是一个高度先进和可靠的晶圆加工反应堆,提供高效和准确的加工。对于重视精度和速度的半导体行业专业人士来说,这是一个理想的选择。由于其各种特点,它也是一个有效和安全的工艺选择,如蚀刻,沉积,退火或生长。
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