二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9251715 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于薄膜涂层的研究、开发和商业化生产。AKT Endura II反应堆可用于沉积薄金属和介电膜，以及复合半导体和其他先进材料，用于微电子、光电和微系统器件。AMAT Endura II是一种具有模块化设计的热强、大面积、工业规模的CVD反应堆。其腔室尺寸为40 "x 50"（101.6 cm x 127 cm），经济高效地从尺寸为8 "x 8"（20.3 cm x 20.3 cm）至30 "x 38"（76.2 cm x 96.5 cm）的基板上输送更大规模的均匀涂层。典型的过程压力范围在1 Torr至10 Torr之间，而温度可在25摄氏度至1000摄氏度之间编程。其独特的双螺旋淋浴头设计保证了高均匀性和工艺重复性，具有≤10 nm/摄氏度的温度和压力变化，导致化学计量控制和更高的沉积速率。APPLIED MATERIALS Endura II所采用的技术可实现高精度的基板加热、均匀的气体分配、高效的气体/化学使用以及精确的工艺控制。它使用化学来源介绍模块（CSIM）以预溷合形式引入纯至99.999%的工艺气体和灵活气体输送，以确保化学品的完全利用，并降低工艺成本。此外，其智能自动化控制系统（ACS）实现了关键工艺参数的实时监控，减少了薄膜排泄率。Endura II旨在最大限度地提高安全性,为您提供电弧检测控制、真空互锁和双束光学高温计。此外，其低振动冷却泵可防止工艺室在操作过程中升温，降低安全隐患风险。最后，AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种可靠、高性能的CVD反应器，具有先进的工艺控制能力，能够坚固地生产薄金属和介电膜以及复合半导体和其他先进材料。