二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270653 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种化学气相沉积（CVD）反应器，用于在基板上形成各种材料的薄层。反应堆由多个"层"组成，从加热室到支撑和转移部件，再到计算机控制的电气设备。加热室是AKT Endura II反应堆的心脏。它是一个圆柱形的不锈钢容器，内室和外室。外室壁衬有保温材料以维持温度，内室壁衬有充当加热器的陶瓷敏感器。磁感器能够达到高达1200 °C的温度,并且可以独立控制以形成不同厚度的材料层。该腔室还包含一个或多个专门的气体入口，允许引入沉积过程中使用的化学品和气体。AMAT Endura II的支持和转移机制是为有效和可靠的基板进出腔室而设计的。轨道台通常位于腔室的另一端，它有一个滚子系统，用于在腔室和轨道台之间快速转移基板。过程气体的反应浓度、温度、压力和流量都受到电子监控和调节。APPLIED MATERIALS Endura II在溷合直流/射频动力装置上运行。这台机器允许对沉积过程进行更大的控制，使操作员能够精确地调节形成层的温度、均匀性和厚度。内部计算机工具监视和调节电流和电压，以及监视和记录资产变量，包括插头温度、腔室压力和沉积层参数。Endura II反应堆专为生产高温沉积层而设计。它能够生产各层材料，包括金属-半导体、金属-绝缘体和硅-介电，每一层都具有极好的均匀性和选择性。反应堆的先进电气模型允许对层层形成进行精确控制，使操作员能够在短时间内创建定义明确的材料层。