二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270655 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的反应性离子蚀刻（RIE）设备，用于广泛的蚀刻应用。用于精确图样、蚀刻和阳极氧化材料，包括铝、铜、硅、蓝宝石和氮化硅制成的材料。AKT Endura II使用先进的氙气驱动、感应耦合等离子体（ICP）源在整个系统中产生均匀的等离子体分布，确保精确蚀刻。该过程基于平行板体系结构和专有的计算机处理器控制（CPC）单元。AMAT Endura II能够执行各种各样的蚀刻过程，从浅各向异性蚀刻到深各向异性蚀刻。它还具有在蚀刻过程中能够精确温度控制的扁平晶片卡盘，以及用于进行单面或双面蚀刻的可编程腔室。该机还配备了Integral Reactive Ion Etching或IRIE等尖端蚀刻技术。这项专利技术提供了一种高效的蚀刻工艺，非常适合多晶材料。Endura II设有主室、负载锁室和节气门，全部设计为最大限度地减少气体和材料损失。它能够容纳多达五个晶片，使其成为生产级蚀刻应用中方便高效的工具。它配备了晶圆温度、压力等实时操作参数，允许用户对蚀刻过程进行监控，并根据需要调整参数。此外，APPLIED MATERIALS Endura II配备了先进的二次离子质谱（SIMS）工具，以高精度精确检测次埃蚀刻。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是在从半导体行业到光学和电子行业的多个行业中执行精确和精确蚀刻过程的理想工具。其先进技术确保精密蚀刻和统一蚀刻产量，使其成为蚀刻行业的宝贵资产。