二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9274814 待售
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ID: 9274814
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
MOCVD System, 12"
EFEM
TM
TxZ
(2) PCII
(2) IMP
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是用于生产先进材料的最先进的反应堆。设计用于生产高通量、低缺陷密度薄膜和涂料,可应用于一系列工业应用。AKT Endura II是一种并行处理真空沉积工具,结合了多个生产室、原料和生长过程,包括电子束、热蒸发和溅射。它能够精确控制沉积速率、氧化物厚度、氧化物/金属比值以及在广泛波长和入射角范围内的光学常数分布。此外,AMAT Endura II使用二次离子质谱(SIMS)进行过程监测,光学光谱进行薄膜表征。它还配备了先进的自动化、真空计、数字控制器和数据通信端口。APPLICED MATERIALS ENDURA II有一个20室的集群,能够处理直径不超过4英寸或直径不超过6英寸的基板,并带有扩展的固定装置。Endura II反应堆具有很高的工艺灵活性和出色的统一能力;其腔室温度均匀性小于¼摄氏度,沉积速率均匀性高达常规间歇蒸发器的六倍。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II的可编程沉积工艺及其编码各个群集参数的能力使得专门的工艺节点成为现实。AKT Endura II提供了广泛的优势,包括模块化设计,具有未来升级的空间,低运营和维护成本,与传统的处理系统相比具有更高的成本效益。此外,它的可扩展吞吐量容量允许AMAT Endura II在基材数量和总工艺时间方面满足特定的应用要求。综上所述,APPLIED MATERIALS Endura II是一种尖端、高通量的反应堆,设计用于显着的生产灵活性和最小的缺陷。凭借其行业领先的能力,Endura II是一种可靠而强大的工具,可为许多工业应用生产先进材料。
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