二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9274818 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的等离子体蚀刻反应器，设计用于对各种材料和基材进行大规模蚀刻和蚀刻相关操作。该反应堆设计用于大批量工业过程以及研究、开发和教育实验室环境。AKT Endura II建有基座式装填平台和真空外壳，以方便晶圆和目标特定基板的装卸。此设计还允许在同一蚀刻操作中包含的不同过程之间轻松转换零件和组件。AMAT Endura II具有一个低压等离子体室，可以装满惰性气体或其他支持蚀刻的组件，以完全控制该过程。该反应器包括溷合气体系统，可以溷合多个气流以优化蚀刻性能。该系统还允许精确调整沉积压力、腔室压力和蚀刻体积，以进一步定制蚀刻工艺。此外，反应堆采用集成质谱仪测量和跟踪蚀刻工艺特性。APPLICED MATERIALS Endura II利用射频（RF）和ICP（感应耦合等离子体）技术在多种材料中提供高蚀刻速率和均匀蚀刻性能。其先进的功率控制机制允许对压板和气体系统进行独立的直流偏置控制，从而确保整个晶片均匀的蚀刻深度和均匀性。这样可以在大批量生产中重复和可靠的蚀刻结果。Endura II腔室有大量的空间，可以同时蚀刻多个晶片。这允许将多个过程步骤集成到单个蚀刻操作中,包括阵列、交联和植入。反应堆还包括一个视频成像系统，用于监测蚀刻过程并显示该过程的实时照片。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II的工作温度范围从室温到高达1000°C（1800 °F）在真空或氮气气氛条件下。这种高工作温度范围允许材料快速加工，导致加工时间缩短，缺陷减少。此外，反应堆具有高度自动化，包括可编程配方参数，以减少安装和启动所需的工作量和时间。总体而言，AKT Endura II是一种先进的等离子体聚变蚀刻反应堆，旨在满足大批量工业过程的需求。其强大的设计，先进的控制机制和高工作温度范围允许高效和可重复的蚀刻操作具有卓越的性能。