二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9293625 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的CVD（化学气相沉积）等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）反应器。AKT Endura II PECVD反应堆的设计旨在确保最大的工艺均匀性和最高的沉积速率，从而提高使用时的产量。AMAT Endura II PECVD反应堆利用射频功率在工艺室中产生等离子体，等离子体被注入室中的前体气体激活。活化的前体气体可用于沉积多种薄膜，包括氧化物、氮化物和多晶硅。这是通过前体分子的热解离或非热解离来实现的，前体分子被反应性分解并作为薄膜沉积在基板表面上。Endura II的工艺室可以配置为适应不同的产品尺寸、材料和基板配置。APPLICED MATERIALS Endura II PECVD反应堆有几种配置，包括间歇室、水平管和垂直管。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II还具有气体分配系统，可确保在整个腔室内均匀分布气体，从而在整个基质上均匀沉积。腔室还配备了一个射频线圈，在腔内提供均匀的射频分布。AKT Endura II先进的加热元件设计，以确保室内快速启动和过程温度均匀。这有助于确保反应正确发生，并确保所需的薄膜以高精度沉积。AMAT Endura II还提供了几种高级控制选项,可提高流程准确性和可重复性。这些功能包括端点控制、清除扩散和程序设置编辑功能,这些功能允许精确的过程优化,从而确保可重复的过程结果。Endura II PECVD反应器是一种可靠且易于使用的工具，具有优异的沉积性能和均匀性。这种PECVD反应堆非常适合用于各种具有挑战性的生产环境，包括微电子、微机电系统、平板显示器和先进的包装应用。