二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9314715 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种PECVD设备，设计用于电介质膜、金属和硅化物的沉积。系统可以在RTP腔室中在高达400°C的温度下处理4英寸晶片。AKT Endura II反应堆有一个专用的装卸站和辅助设备，可实现底物温度和配方控制。它由一个工艺室、一个工艺头和一个基站组成。该工艺室是一个八英寸的单晶圆工艺室，有石英壁和盖子，允许处理硅、绝缘和导电材料。该工艺室采用Turbo-Pump Turbo-V AdvanceTM抽油机，提高了循环时间和可靠性。它还具有TemperFloTM可编程温度控制器,以保持反应室内的温度。AMAT Endura II机的製程头包含一组五个电极，为基板和製程气体提供能量。为沉积反应提供的总功率为6.75 kW。磁头的设计具有灵活性和反应堆操作的顺序，允许按顺序执行多个过程步骤。Endura II工具的基站作为所有反应堆运行的控制面板。它包含一系列七种可编程的输入和模式，用于配方控制、温度控制和气体分布。该资产还配备了CCD/摄像头,用于在工艺操作过程中监控腔室状况。APPLICED MATERIALS Endura II反应器是一种先进的沉积工具，设计用于多种应用，包括需要介电膜、金属和硅化物的半导体工艺。它具有很高的生产效率和成本效益,使流程工程师能够开发和维护具有高产率和优化周期时间的流程。