二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315097 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种单晶片反应器，旨在为半导体器件制造提供全面、耐用、用户友好的工艺工具。AKT Endura II利用先进技术，如高频电感耦合等离子体（ICP）源、快速脉冲偏置发生器和多种蚀刻硬件配置，以实现高质量的制造，并具有广泛的器件结构。AMAT Endura II的全集成设备由低温低温恒温器、原位携带组件、遥控系统和定频高频ICP发生器组成。这种组合提供了一种低成本、高性能的ICP蚀刻装置，可以很容易地集成到现有的半导体制造生产线中。APPLIED MATERIALS Endura II的模块化设计允许轻松扩展和升级,以满足客户制造系列的需求。机器的所有组件都可以根据个别客户的需要进行配置。还针对不同工艺条件下的蚀刻均匀性优化了工艺室设计。Endura II的高频ICP源提供了配方灵活性,能够精确控制蚀刻速率、蚀刻选择性、CD（临界维度）公差和其他薄膜特性。射频偏置发生器还可以精确控制蚀刻和沉积过程。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II的原位承载工具可实现高吞吐量,并提供从单级阵列到多级处理的宽层处理能力。快速脉冲偏置发生器在不影响蚀刻速率精度或工艺均匀性的情况下，提供了快速的处理时间和出色的CD控制。AKT Endura II还具有易于使用的用户界面和直观的报警管理功能，使用户能够快速设置和监控流程序列。此外,还提供了一整套诊断工具,使客户能够监控和分析其流程,并确定任何潜在的流程问题。总体而言,AMAT Endura II为客户提供了一种全面、耐用且用户友好的半导体制造工艺工具。通过其高频ICP源、快速脉冲偏置发生器和其他功能,APPLIED MATERIALS Endura II使客户能够实现准确、可重复和经济高效的设备制造。