二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315100 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种最先进的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）反应器，设计用于生产介电、屏障和保护材料涂层薄膜，用于半导体和薄膜器件制造。先进的反应堆系统通电，在专门设计的真空室内产生高能等离子体。反应堆产生的等离子体产生一种电离气体（等离子体），有助于诱导原料气体蒸气内的反应物种类或与悬挂在室内的反应物蒸气分子分离。反应性物种随后能够穿透暴露的表面，在基质表面成核形成保护性涂层。AKT Endura II具有几个独特的优点。它的两板设计允许精确控制温度和压力。这样可以消除薄膜沉积过程中的温度和压力变化,并允许更大的重复性,从而实现一致的高性能薄膜。自动化的现场端点监控系统最大限度地提高了可靠性和统一性,同时降低了成本和停机时间。AMAT Endura II的腔室设计提供了整个腔室的均匀气体分布和高的电气连接特性，使得更大面积的晶片能够沉积。这也消除了手动加载的需要,从而提高了流程吞吐量和高产率。此外，Endura II反应堆中使用的PECVD配置通过允许更好地控制反应物反应性、温度和压力，有助于最大限度地提高吞吐量。它还有助于晶片表面温度保持均匀，提高了薄膜沉积的通量和均匀性。APPLICED MATERIALS Endura II反应器非常适合各种器件和薄膜沉积应用，通过精确的温度和压力控制提供了良好的工艺控制。其自动化的现场端点监控系统消除了手动加载,并提供了高重复性,从而能够生产一致的高性能胶片。