二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315101 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是为清洁室环境中的多种工艺而设计的线型半导体晶圆反应器的顶部。它能够进行广泛的化学反应,如化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD),并提供高度的过程控制。AKT Endura II是一种低压、低温的设备,能够减少气体和化学蒸气的使用,同时提高生产率、效率和质量。AMAT Endura II具有不锈钢平台和先进的反应物输送系统,使其成为广泛工艺的完美平台。其独特的高功率加热系统,由先进的控制器控制,能够实现精确的温度控制和高反应性气体组合以及高效的溷合和化学反应。该单元还拥有易于使用的界面,能够快速开发配方、编辑和监控。此高级控制允许更高质量的CVD和ALD过程。APPLIED MATERIALS Endura II兼容从8英寸到300毫米的各种晶圆尺寸,使其成为各种半导体项目的多功能平台。Endura II专为在半批处理和批处理过程中兼容性和可扩展性而设计。它还有一个迭代、自动化的校准机,用于确保整个过程中准确的压力和温度曲线,以改进过程控制。该工具还具有用于同时处理多个晶片的多层特征。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II专为长寿命和低维护使用而设计,具有坚固的生产室和歧管设计,以及改进的反应物输送系统,有助于最大限度地减少操作过程中的停机时间。它还具有集成的流程监控功能,允许操作员实时监控资产的进度、参数和性能。集成腔室固定系统可以延长模型的使用寿命,即使在有侵略性材料的情况下也是如此。AKT Endura II设计用于大规模、高通量的生产环境,使其成为研发和工业规模生产的理想设备。该系统先进的控制、集成的过程监控、较低的气体使用量以及减少的停机时间,使其成为各种项目的诱人工具。
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