二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315104 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是生产半导体器件的最先进的解决方桉。该反应堆采用两级惰性气体淋浴工艺，用于开发坚固的氮化物和介电膜。此过程有助于提高设备性能和可靠性,同时减少缺陷。反应堆使用高效的热管理设备，调整到加工环境，允许精确的过程控制。这项技术有助于在整个基板表面上实现均匀的温度，从而实现优化的沉积和蚀刻结果。反应堆装有先进的计算机控制图形用户界面（GUI）。这使操作员能够轻松访问反应堆设置并自定义参数以获得最佳结果。AKT Endura II反应堆具有利用高效加热系统的高流量炉。这样可以确保快速高效地将热气体输送到工艺中,同时保持整个基板表面的均匀温度。这种设计有助于减少热梯度并改善基板上的沉积均匀性。此外，高效的气体利用导致反应堆使用寿命内的运行成本较低。AMAT Endura II配备了低排放等离子体源，有助于减少等离子体增强沉积过程中的颗粒产生。这样可以优化高质量多层堆栈的工艺,同时将污染风险降至最低。反应堆还提供了一个可选的基板着陆室（SLC），以确保在工艺完成后基板的直接冷却。此外，反应堆还配备了多种原位诊断。这些特性有助于监测反应堆性能，减少过程的启动时间，降低维护成本。总体而言，Endura II反应堆是最先进的氮化物和介电膜沉积装置。这台机器具有先进的热管理和等离子体源，以及多个原位诊断。这一创新工具有助于改进过程控制和效率,同时减少缺陷。APPLICED MATERIALS ENDURA II反应器提供了开发坚固可靠的器件的绝佳能力，使其成为半导体器件制造的理想选择。