二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9351090 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种多功能反应堆，设计用于对等离子体运行条件进行动态控制的等离子体过程。这种反应堆是一种多合一等离子体处理设备，结合了真空泵、级和源的功能来进行完整的蚀刻或沉积技术。AKT Endura II包括多种保护和控制系统,使用户能够以更高的安全性、重复性、过程控制和精度可靠地运行其过程。AMAT Endura II具有优质气密不锈钢真空室的六阴极系统，底压为1 x 10-7mbar。该腔室还配备了一个创新的真空泵失真控制单元，帮助保持真空完整性，即使泵速度改变。这对于需要高吞吐量的流程特别有用。此外，最大载荷为44千克的沉降晶片级允许广泛的晶片载荷配置。Endura II还配备了频率高达160MHz的射频发电机，总功率为300瓦。该发电机为用户提供了执行CVD、PECVD和RIE等高功率处理的能力。它还配备了具有高级监控和诊断功能的高级前馈控制器。这台监控机器可以让用户以更高的精度和精度来调整和维护他们的等离子体参数。此外，APPLIED MATERIALS Endura II反应器包括射频匹配网络以及外部电压扫描功能。这些功能为用户提供了为不同的工艺开发活动定制等离子体实验室的能力。此外，反应堆与最先进的用户界面工具集成在一起，使用户能够快速定制和调整他们的工作配方，以改进等离子体生产。AMAT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反应堆的建造和完善，充分选择了先进的特性和功能，使精密的用户能够探索广泛的等离子体处理。AKT Endura II的用户能够利用反应堆的创新技术和动态控制，达到最高分辨率和重复性。